芯片的转移方法、晶圆以及用于抓取芯片的转移头.pdfVIP

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  • 2023-05-16 发布于四川
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芯片的转移方法、晶圆以及用于抓取芯片的转移头.pdf

本申请提供了,一种Micro‑LED芯片的转移方法、晶圆以及用于抓取芯片的转移头,该Micro‑LED芯片上具有疏水层,该方法包括:将多个具有疏水层的Micro‑LED芯片放置于水溶液中;通过转移头抓取水溶液中的多个Micro‑LED芯片,转移头包括多个凹槽,凹槽用于容纳Micro‑LED芯片,凹槽的底部设置有亲水层,以使抓取的Micro‑LED芯片的疏水层远离凹槽的底部;将抓取的多个Micro‑LED芯片固定至目标基板上,Micro‑LED芯片的疏水层贴合目标基板。通过上述流体自组装的方法可以

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114765118 A (43)申请公布日 2022.07.19 (21)申请号 202110053476.1 (22)申请日 2021.01.15 (71)申请人 华为技术有限公司 地址 51812

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