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本发明涉及一种废蚀刻液的回收方法,所述回收方法包括:将酸性含铜蚀刻废液、碱性蚀刻废液和氨水进行混合处理,经过固液分离得到固相和铜铵溶液;对得到的所述铜铵溶液依次进行碱处理和脱氨,之后经固液分离得到氯化钠溶液和氧化铜。通过采用特定的回收流程实现了铜蚀刻过程中产生的蚀刻废液的有效回收。使得废液的有价资源实现了再次利用,有利于环境保护,实现了资源的可持续利用,同时过程中不存在新的废弃物产生,实现了整个回收处理过程的闭环。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114772628 A
(43)申请公布日 2022.07.22
(21)申请号 202210431688.3 C22B 15/00 (2006.01)
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