一种MEMS元件以及电声转换装置.pdfVIP

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2023-05-16 发布于四川
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一种MEMS元件以及电声转换装置.pdf

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本申请公开了一种MEMS元件以及电声转换装置，MEMS元件包括：基底，一空腔穿过基底；振膜，与基底连接，并覆盖空腔，振膜包括相对设置的第一膜片和第二膜片，第一膜片位于第二膜片的背离空腔的一侧，第一膜片包括凸出于第一膜片上的第一凸起；第二膜片包括凸出于第二膜片上的第二凸起，第二凸起朝向背离第一膜片的一侧延伸，第二凸起与第一凸起相对设置。通过于第一膜片上设有第一凸起，第二膜片上设有第二凸起，第一凸起和第二凸起组合形成波纹形的振膜，能减小所形成的振膜的内应力，随着内外压差的增大，振膜膜片的刚度减小，有

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114760569 A (43)申请公布日 2022.07.15 (21)申请号 202210471277.7 (74)专利代理机构北京汇思诚业知识产权代理