原创力文档- 17
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- 2023-05-16 发布于四川
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本公开提供一种光刻机、显影装置及显影方法。该显影装置包括：旋转吸盘，用于支撑晶圆，所述晶圆的表面具有已曝光的光刻胶层；抬放单元，用于将晶圆装载至所述旋转吸盘，或者从所述旋转吸盘上卸载所述晶圆；显影单元，用于旋覆显影液至所述晶圆上以显影所述已曝光的光刻胶层；其中，所述抬放单元包括预设数量的支撑脚，所述支撑脚包括支撑杆和保护帽，所述支撑杆的至少一部分由静电阻断材料制成。本公开中更改了现有显影装置中支撑脚的材质，阻断了静电传输，带静电的晶圆和支撑脚接触时不会产生较高的电压，从而避免晶圆被高压点击造成的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114764218 A
(43)申请公布日 2022.07.19
(21)申请号 202110056672.4
(22)申请日 2021.01.15
(71)申请人 中国科学院微电子研究所
地址 10
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