光纤白光干涉测量术.pptVIP

第一页，共四十页，2022年，8月28日 第二页，共四十页，2022年，8月28日 第三页，共四十页，2022年，8月28日 第四页，共四十页，2022年，8月28日 第五页，共四十页，2022年，8月28日 第六页，共四十页，2022年，8月28日 第七页，共四十页，2022年，8月28日 第八页，共四十页，2022年，8月28日 第九页，共四十页，2022年，8月28日 光程补偿法 总结：2个干涉仪，一个传感，一个工作在扫描状态，在2干涉仪的光程差相同时，获得最大干涉条纹。或者扫描干涉仪的一个臂，在两臂光程差相同时得到最大条纹。缺点：只能实验室使用 第十页，共四十页，2022年，8月28日 波长扫描法 宽带光源注入干涉仪， 测量光谱中的周期波长间隔 第十一页，共四十页，2022年，8月28日 波长测量法中，用光谱仪获得的光谱 第十二页，共四十页，2022年，8月28日 波长扫描白光干涉测量中的问题： 一、光谱仪昂贵，且不便于仪器化。一般有2种解决方案： 1、基于CCD阵列的光谱仪结合Fizeo干涉仪，或玻璃衍射光栅。但CCD在1um无响应，与光纤系统的发展趋势不吻合 2、用可调谐F-P滤波器，或基于此的光纤激光器进行扫描，获得白光光谱，更适合仪器化和工程化 二、白光光谱呈正弦分布，不能准确的测量出峰值处的波长 第十三页，共四十页，2022年，8月28日 波长扫描白光干涉光谱获取技术 第十四页，共四十页，2022年，8月28日 光谱仪和可调谐滤波器采集光谱比较（M-Z干涉仪） 第十五页，共四十页，2022年，8月28日 传统的OPD测量方法 1. 2. 3. OPD与某一个峰的波长变换 第十六页，共四十页，2022年，8月28日 傅里叶变换频率法 第十七页，共四十页，2022年，8月28日 北京理工大学： OPD测量中的相位测量技术 白光干涉相位测量术原理 第十八页，共四十页，2022年，8月28日 目前已经研究的基于相位解调的白光干涉测量术 傅里叶变换白光干涉测量术 傅里叶变换白光干涉相对测量术 波长扫描白光干涉测量术 相移白光干涉测量术 白光干涉正交测量术 第十九页，共四十页，2022年，8月28日 1.傅立叶变换白光干涉测量 第二十页，共四十页，2022年，8月28日 实验结果 第二十一页，共四十页，2022年，8月28日 傅里叶变换白光干涉测量术复用2个传感器 第二十二页，共四十页，2022年，8月28日 傅立叶变换白光干涉相对相位测量术原理（略） 第二十三页，共四十页，2022年，8月28日 2:波长扫描白光干涉测量术 第二十四页，共四十页，2022年，8月28日 解调原理 第二十五页，共四十页，2022年，8月28日 测量的相位与傅里叶变换白光干涉法的比较 第二十六页，共四十页，2022年，8月28日 3.相移白光干涉测量术一 第二十七页，共四十页，2022年，8月28日 3.相移白光干涉测量术二 第二十八页，共四十页，2022年，8月28日