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- 2023-05-16 发布于四川
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本发明涉及凝聚态物理领域，特别涉及一种可调谐二维材料超晶格器件的实现方法。该实现方法包括构建二维材料超晶格，并通过超晶格结构参数调控单元实现二维材料超晶格器件的调谐。所述的二维材料超晶格由氮化硼/二维材料/氮化硼三明治结构以及可变形纳米栅极构成；所述的结构参数调控单元，包含样品台，压电陶瓷以及控制器，本发明通过压电陶瓷控制可变形纳米栅极表面形貌，从而改变栅极与三明治结构接触面积，实现二维材料超晶格结构参数的原位调控。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116013964 A
(43)申请公布日 2023.04.25
(21)申请号 202310044133.8 H01L 29/423 (2006.01)
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