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光学装置(12)包括照明光学系统(21)、光调制器(22)以及投影光学系统(23)。照明光学系统(21)包括:光束整形器(213),将激光(L31)的短轴方向和长轴方向上的强度分布从高斯分布进行变换,并使光调制器的调制面上的平行光束(L32)的短轴方向和长轴方向的强度分布成为平顶分布。在投影光学系统中,在长轴方向上利用第三透镜(223)以及第四透镜(234)使上述调制面与照射面(131)光学共轭。另外,在短轴方向上,利用第一透镜(231)、第二透镜(232)以及第三透镜(233)使该调制面与第四
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 113492218 A
(43)申请公布日 2021.10.12
(21)申请号 202110358008.5
(22)申请日 2021.04.01
(30)优先权数据
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