一种高精度指向系统用抖动补偿装置和方法.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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一种高精度指向系统用抖动补偿装置和方法.pdf

本发明公开了一种高精度指向系统用抖动补偿装置和方法,属于自适应光学领域,本方法通过搭建专有的光学装置,采用高倍显微系统对产品端反射回的自准直像进行抖动分析,然后驱动二维反射镜的快速转动,从而实现整个系统的抖动补偿。本发明所涉及的方法可以实现抖动补偿精度能够优于0.1″,分辨率能够实现优于0.01″,从而为高精度的敏感器提供高精度的测试条件。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114812602 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210248904.0 (22)申请日 2022.03.14 (71)申请人 北京控制工程研究所 地址 1000

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