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- 2023-05-17 发布于四川
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本发明公开了一种晶圆用化学镀镍液及其制备方法，涉及化学镀镍技术领域。本发明制备的晶圆用化学镀镍液，主要是由硫酸镍、次磷酸钠、4‑戊基邻苯二甲腈、4‑(2‑甲酸基‑3‑丙酸基)邻苯二甲腈、8,9‑二氨基苯并噻唑、水等混合得到；在后续对预处理的晶圆进行化学镀的过程中，形成双亲性酞菁和咪唑；本发明制备的晶圆用化学镀镍液要在光照条件下给预处理的晶圆镀镍；其中，预处理的晶圆是将晶圆进行脱脂、除尘、表面喷砂、酸洗、超声清洗处理得到。本发明制备得到晶圆用化学镀镍液的稳定性较强，且晶圆用化学镀镍液制备的镀镍晶圆
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114807916 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210359117.3
(22)申请日 2022.04.07
(71)申请人 江苏矽智半导体科技有限公司
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