用于导电型碳化硅晶片的电流加热装置.pdfVIP

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2023-05-17 发布于四川
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用于导电型碳化硅晶片的电流加热装置.pdf

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本发明公开一种用于导电型碳化硅晶片的电流加热装置，包括电源控制模块、测温单元、第一电极、第二电极及托盘结构，托盘结构上设有容置槽，第一、第二电极分别对应于托盘结构的中心和边缘设置，且第一、第二电极分别电连接于电源控制模块的正负极，测温单元设于托盘结构的上方并电连接于电源控制模块，当容置槽内容纳碳化硅晶片时，碳化硅晶片使第一、第二电极导通从而形成加热电路，利用导电型碳化硅晶片的内部电阻发热来实现热退火，并根据测温单元的检测结果控制施加于第一、第二电极之间的电压以调节加热温度，该电流加热装置的升、降

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114808142 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210549425.2 (22)申请日 2022.05.20 (71)申请人东莞市天域半导体科技有限公司地址