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一种测量平面靶材组件长度的自动化装置及其使用方法.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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一种测量平面靶材组件长度的自动化装置及其使用方法.pdf

    本发明提供了一种测量平面靶材组件长度的自动化装置及其使用方法，所述自动化装置包括光栅尺组件、传送组件、支撑组件和控制组件；光栅尺组件位于传送组件的正上方，且与传送组件的传送方向相垂直；支撑组件位于所述光栅尺组件的正下方，且与传送组件间隔设置；控制组件包括第一传感器、第二传感器和控制器；控制器分别与第一传感器、第二传感器、光栅尺组件、支撑组件、传送组件相连接；光栅尺组件包括光栅标尺和两个光栅读数头，光栅读数头可移动的设置在光栅标尺上，通过两个光栅读数头分别紧靠待测平面靶材组件的两端，得到待测平面靶

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114812399 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210372617.0 (22)申请日 2022.04.11 (71)申请人 合肥江丰电子材料有限公司 地址 2

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