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- 2023-05-17 发布于四川
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本申请涉及设备定位安装领域,尤其是涉及一种定位组件及可对接设备。定位组件包括限位机构、第一调节机构、第一连接部,以及第二连接部,第一连接部与第二连接部均用于连接第一组件,限位机构能够与第一连接部连接,以限制第一连接部在第一方向上运动,和绕着延第三方向延伸的轴线旋转运动,第一调节机构与第二连接部连接,以限制第二连接部在第二方向上运动、在第三方向上运动、绕着延第二方向延伸的轴线旋转运动以及绕着延第一方向延伸的轴线旋转运动,第一调节机构能够调节所述第二连接部绕着沿第一方向延伸的轴线旋转运动。根据本申请
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114810745 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210355414.0
(22)申请日 2022.04.06
(71)申请人 北京半导体专用设备研究所(中国
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