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防金属气体中毒的离子泵.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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防金属气体中毒的离子泵.pdf

    一种防金属气体中毒的离子泵，在所述的离子泵的输出连接管道内增设一个防止离子泵污染的设计。本发明不仅可以大大减少进入到泵体的金属气体，并且对离子泵的抽速没有显著影响，从而达到了对离子泵的隔离保护，延长离子泵使用寿命，降低离子泵离子流本底的作用。另一方面，减少溅射离子泵工作时产生的杂质粒子进入目标真空系统中，可以使得目标区域真空度达到更高。本装置结构简单，易于实现，可作为需要超高真空度实验系统的抽气离子泵装置。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823274 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210209536.9 (22)申请日 2022.03.04 (71)申请人 中国科学院上海光学精密机械研究

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