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五价金属元素掺杂金属氧化物薄膜的制备方法及应用.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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五价金属元素掺杂金属氧化物薄膜的制备方法及应用.pdf

    本发明涉及五价金属元素掺杂金属氧化物薄膜的制备方法及应用，方法包括：一、将金属氧化物粉末和五价金属元素氧化物研磨混合，并置于蒸发舟中，其中，五价金属元素氧化物包括五氧化二钒粉末、氧化铌粉末或氧化钽粉末，金属氧化物粉末包括三氧化钨粉末或三氧化钼粉末；二、将衬底插入热蒸发设备腔体顶部的样品槽中；三、将腔体抽真空，直到真空度小于10‑3Pa；四、缓慢增加电流到90A后，打开挡板开始蒸镀，蒸镀一定厚度后关闭挡板，然后关闭电源，自然冷却后取出样品，即可得到五价金属元素掺杂金属氧化物薄膜，五价金属元素掺杂金

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823346 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210346612.0 (22)申请日 2022.03.31 (71)申请人 浙江理工大学

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