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本发明公开了一种利用感应耦合等离子干法刻蚀提高摩擦电输出性能的方法。用感应耦合等离子体干法刻蚀仪对膜的上表面进行刻蚀处理，使得在膜的上表面形成纳米纹理化结构；再用感应耦合等离子体刻蚀仪对膜的上表面进行沉积处理，使得在纳米纹理化结构上表面沉积一层氟碳层。本发明是通过感应耦合等离子体干法刻蚀处理法，在PVC薄膜表面构建纳米纹理结构以及覆盖一层氟碳物质，提高薄膜的摩擦电输出性能。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114804016 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210449601.5
(22)申请日 2022.04.26
(71)申请人 浙江大学
地址 310058 浙江
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