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- 2023-05-17 发布于四川
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本申请涉及一种柔性微针电极及其制备方法，所述方法包括：提供一3D打印得到的预制结构，预制结构包括支撑板与设置在支撑板上的多个微针；将支撑板上的多个微针转移至第一柔性材料层，以得到设置在第一柔性材料层上的微针阵列；形成导电层，导电层设置在第一柔性材料层与微针阵列的微针上；形成封装层，封装层设置在导电层上以包裹微针阵列的微针，并暴露出位于微针的部分导电层。由于先采用3D打印得到具有微针的预制结构，再将微针转移到柔性材料层上形成微针阵列，保证了微针电极的柔性，工艺简单且降低了成本。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114795221 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210232717.3
(22)申请日 2022.03.09
(71)申请人 浙江清华柔性电子技术研究院
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