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一种导电膜层的制备方法、导电膜层及发光二极管.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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一种导电膜层的制备方法、导电膜层及发光二极管.pdf

    本发明公开了一种导电膜层的制备方法、导电膜层及发光二极管，应用于发光二极管，涉及光电技术领域，该导电膜层的制备方法包括：提供一LED外延结构；通过真空溅射镀膜工艺在LED外延结构上镀ITO薄膜层；在ITO薄膜层表面涂布掩膜层；通过带图案的软模板印压ITO薄膜层，并进行曝光处理以固化ITO薄膜层表面的有效图案区域；去除未固化的ITO薄膜层的非有效图案区域，形成有效图案的ITO薄膜层；将有效图案的ITO薄膜层置于药液中去除多余的掩膜层，以形成导电膜层。本发明能够解决现有技术中精度低、均匀性差及成本高

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114807853 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210284654.6 (22)申请日 2022.03.22 (71)申请人 江西兆驰半导体有限

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