腔门锁紧机构和真空镀膜腔室及真空镀膜装置.pdfVIP

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2023-05-17 发布于四川
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腔门锁紧机构和真空镀膜腔室及真空镀膜装置.pdf

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本发明涉及一种腔门锁紧机构和真空镀膜腔室及真空镀膜装置。该腔门锁紧机构，包括设置于第一部分的第一锁合件，设置于第二部分的第二锁合件，第二锁合件设置锁孔。转动组件用于驱使所述第一锁合件与所述第二锁合件相对运动至锁合位置和解锁位置；驱动组件用于驱动的第一锁合件伸入或退出所述锁孔；在所述锁合位置，所述第一锁合件与所述第二锁合件相对固定；在所述解锁位置，所述第一锁合件能够在所述驱动组件的驱使下伸入或退出所述锁孔。尤其是针对于大尺寸的真空镀膜装置，腔门锁紧机构可以使得第一部分与第二部分闭合效果较好，有效减

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114807889 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210539398.0 (22)申请日 2022.05.18 (71)申请人东莞市华升真空镀膜科技有限公司地址