原创力文档- 0
- 0
- 约1.14万字
- 约 11页
- 2023-05-17 发布于四川
- 举报
本发明提供了一种应用于激光干涉形貌检测的快速相位获取系统及方法，所述系统包括激光光源单元、相位调制单元、图像采集单元以及计算机控制端，所述激光光源单元包括固体激光器、旋转偏振镜、准直扩束镜及非偏振分束器；所述相位调制单元包括液晶空间光调制器；所述图像采集单元包括成像透镜和CCD图像采集装置，在测量过程中，通过液晶空间光调制器实现参考光束相位调制，并与通过检测试件的测试光束产生干涉图像序列，进而解析出相位信息，获得检测试件的表面形貌。本发明的系统鲁棒性强、相位调制响应迅速、系统整体检测灵敏度高，并
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114812432 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210301356.3
(22)申请日 2022.03.25
(71)申请人 上海电机学院
地址 200240
文档评论（0）