真空技术真空设备的检漏方法选择.docx

真空技术 真空设备的检漏方法选择 真空技术 真空设备的检漏方法选择 范围 本标准规定了真空设备检漏方法选择的人员资格要求、通用要求、检漏实施的安全要求、选择程序及选择原则、检漏方法的特征参数。 本标准适用于真空设备的检漏方法选择，适用的真空设备包括真空容器、真空管道、真空泵、真空 阀门、真空镀膜设备、真空枯燥设备、真空冷冻枯燥设备、外表分析设备、真空冶金设备、空间环境模拟设备、半导体生产设备等真空设备。工作时涉及真空状态的其他设备的检漏方法选择也可参照本标准 执行。 标准性引用文件 以下文件对于本文件的应用是必不行少的。但凡注日期的引用文件，仅所注日期的版本适用于本文件。但凡不注日期的引用文件