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基板搬送装置和成膜装置.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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基板搬送装置和成膜装置.pdf

    本发明提供在基板搬送装置中高精度地取得基板的边缘图像的基板搬送装置和成膜装置。基板搬送装置具备：搬送部件，搬送基板；拍摄部件，在将基板对准搬送部件时，使用来自光源的照明光进行基板的边缘图像的拍摄；调整部件，在基板的边缘图像的拍摄中产生不良状况的情况下，进行摄像部件的快门速度、摄像部件的增益以及照明光的光量中的至少一个的调整；以及对准部件，基于通过进行了调整的拍摄而拍摄到的基板的边缘图像进行对准。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116013823 A (43)申请公布日 2023.04.25 (21)申请号 202211257892.4 C23C 14/50 (2006.01)

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