先进制造技术3-268.pptxVIP

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2023-05-18 发布于江苏
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先进制造技术3-268.pptx

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; ; ; ; ;加工方法; ; ; ; ; ;3.2 特种加工技术; ; ; ;3.8.1 激光加工; ; ;1、11-冷却水人口 2-工作物质 3、9-冷却水出口 4-局部反射镜 5-透镜 6-工件 7-激光束 8-聚光器 10-氙灯 12-玻璃套管 13-电源〔含电容组和触发器〕 14-全反射镜; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ;; ; ; ; ; ; ;3.3 特种加工技术;3.3 特种加工技术;3.3 特种加工技术;3.3 特种加工技术;2、光刻加工氧化硅晶片外表形成一层氧化层；涂胶涂光致抗蚀剂；曝光通过掩模曝光；显影曝光局部溶解去除；腐蚀未被覆盖局部腐蚀掉；去胶将光致抗蚀剂去除；扩散--向需要杂质的局部扩散杂质，以完成整个光刻加工过程。;3.2 特种加工技术;3.2 特种加工技术;3.2 特种加工技术;3.2 特种加工技术; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ; ;; ; ;3.2 特种加工技术; ;