1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 文档分类
  4. 行业资料
  5. 国内专利

一种基于碳纳米管通道的纳流控芯片加工方法.pdfVIP

  • 3
  • 0
  • 约1.25万字
  • 约 12页
  • 2023-05-17 发布于四川
  • 举报

一种基于碳纳米管通道的纳流控芯片加工方法.pdf

    本发明提供一种基于碳纳米管通道的纳流控芯片加工方法。包括：在除水的基底上旋涂一薄层光刻胶并加热使其固化；将碳纳米管薄层通过热释法转移至光刻胶薄层表面的预定位置；在光刻胶薄层表面旋涂另一层光刻胶将碳纳米管嵌入其中；加热使光刻胶溶剂挥发，之后进行光刻操作，在基底上加工开式微米通道系统，光刻操作后碳纳米管部分暴露在微流通道中；将通道中倒入液态PDMS将暴露在通道中的碳纳米管嵌入PDMS，将PDMS固化并剥离，获得带有碳纳米管通道的纳流控芯片基底；对PDMS表面进行等离子氧化处理，将其和S5中所述碳纳米

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114433261 A (43)申请公布日 2022.05.06 (21)申请号 202210089961.9 (22)申请日 2022.01.25 (71)申请人 大连海事大学 地址 116026

    您可能关注的文档

    最近下载

    文档评论（0）

    1亿VIP精品文档

    更多 >

    相关文档

    更多 >