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监视电路、包括其的集成电路和监视电路的操作方法.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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监视电路、包括其的集成电路和监视电路的操作方法.pdf

    提供了一种监视电路和工艺特性监视方法。该监视电路包括：传感器电路，其具有多个装置和选择电路，选择电路选择多个装置之中的要被监视的装置；输入电路，其基于输入数字数据将第一信号施加到要被监视的装置；以及输出电路，其基于由传感器电路生成的第二信号生成输出数字数据。输入电路包括数模转换器，并且输出电路包括模数转换器。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116009431 A (43)申请公布日 2023.04.25 (21)申请号 202211028406.1 (22)申请日 2022.08.25 (30)优先权数据 10-2021-0112655

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