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- 2023-05-17 发布于四川
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本发明提供一种基于VN的SNS约瑟夫森结及其制备方法，该基于VN的SNS约瑟夫森结的制备方法包括以下步骤，提供一衬底，采用直流反应磁控溅射于衬底上形成包括NbN底层膜、VN势垒层及NbN顶层膜的功能材料层，刻蚀功能材料层以形成包括底电极、VN结势垒层及顶电极的功能层，并形成覆盖功能层的显露表面及衬底的上表面的隔离层，于隔离层上形成第一接触孔及第二接触孔，并形成覆盖隔离层及填充第一接触孔与第二接触孔的配线层，刻蚀配线层以形成第一配线部及第二配线部。本发明通过采用直流反应磁控溅射方法形成低温下呈金属
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114824054 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210226254.X
(22)申请日 2022.03.09
(71)申请人 中国科学院上海微系统与信息技术
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