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- 2023-05-17 发布于四川
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本发明涉及半导体外延设备领域内的一种恒温液态源鼓泡器，包括筒体、进气管、出气管、液体加注管以及换热盘管；筒体为密封的柱型筒体，进气管的一端自筒体的顶板进入并延伸至靠近筒体的底板处，液体加注管的一端自筒体的顶部进入筒体内，出气管的一端与筒体顶板上的通孔密封连接，换热盘管以螺旋的方式盘旋成柱形至于筒体内，换热盘管通过位于筒体外的进口和出口进行换热流体的循环流动，使筒体内的液体达到预设温度并保持。本发明通过换热盘管的换热流体持续流动使得筒体内的液体的温度能够保持在恒定的温度范围内，进而使得位于液体内的
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114797519 A
(43)申请公布日 2022.07.29
(21)申请号 202210318784.7
(22)申请日 2022.03.29
(71)申请人 上海良薇机电工程有
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