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一种对晶圆半导体进行转线的机械臂.pdfVIP

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  • 2023-05-17 发布于四川
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一种对晶圆半导体进行转线的机械臂.pdf

    本发明涉及晶圆半导体转线领域，具体地说，涉及一种对晶圆半导体进行转线的机械臂。其包括若干个移动装置，若干个移动装置垂直设置相互连接，且设置于上端的移动装置上连接有对晶圆进行运输的承接装置，移动装置包括两个对称设置的安装架以及设置在安装架内部用于传动驱动力的动力传递机构。本发明将承接装置从半成品晶圆的底部和晶圆的底侧壁接触，使承接装置对晶圆进行承接，使承接装置在对晶圆转线时，不会对晶圆的边缘进行施力夹持，避免了晶圆在转线过程中出现损坏的情况，通过设置的多个移动装置对承接装置进行水平的带动，避免了承

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114823473 A (43)申请公布日 2022.07.29 (21)申请号 202210352331.6 (22)申请日 2022.04.04 (71)申请人 汪翼凡 地址 221000 江苏

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