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* 激光干涉测量技术演示文稿 现在是1页\一共有39页\编辑于星期五 激光干涉测量技术 现在是2页\一共有39页\编辑于星期五 激光干涉测量长度和位移 2 激光干涉测长的应用 1、激光比长仪 He-Ne激光器1发出的激光束经平行光管2后将光束变为光斑直径达φ50mm的平行光。 现在是3页\一共有39页\编辑于星期五 激光干涉测量长度和位移 2 激光干涉测长的应用 1、激光比长仪 经反射镜3和分光镜4后将光束分为两路。一路光透过分光镜经反射镜5射入固定角锥棱镜6，另一路光由反射器反射至可动角锥棱镜7。 现在是4页\一共有39页\编辑于星期五 激光干涉测量长度和位移 2 分光镜4至固定角锥棱镜6为一固定的光程，分光器4至可动角锥棱镜7为一随工作台11移动而改变的光程，两者的光程差为激光半波长偶数倍时出现亮条纹，奇数时出现暗条纹。所以工作台11连续移动时就会产生亮暗交替变化的条纹。 现在是5页\一共有39页\编辑于星期五 激光干涉测量长度和位移 2 移相板8将干涉条纹分成两组，此两组干涉条纹的位相差为90o。分像棱镜组9将两组相位为90o的干涉条纹分别引入两个光电探测器12，光电探测器将亮暗交替变化的光信号变为两路相差为90o的电信号，经过调理电路13实现倍频处理传递给计算机14。 现在是6页\一共有39页\编辑于星期五 激光干涉测量长度和位移 2 装在横梁上的双管差动式动态光电显微镜10作瞄准被检测尺上的刻线用。当工作台11运动，即基准尺的刻线通过光电显微镜的两个狭缝时，刻线影像被光电探测器15接收，转换成电脉冲，作计算机开始计数和终止计数的指令信号。计算机的计算结果送入显示器和打印机。 现在是7页\一共有39页\编辑于星期五 激光干涉测量长度和位移 2 激光干涉测长的应用 1、激光跟踪干涉仪 激光比长仪工作原理叙述如下：He-Ne激光器1发出的激光束经平行光管2后将光束变为光斑直径达φ50mm的平行光，经反射镜3和分光镜4后将光束分为两路。一路光透过分光镜经反射镜5射入固定角锥棱镜6，另一路光由反射器反射至可动角锥棱镜7。分光镜4至固定角锥棱镜6为一固定的光程，分光器4至可动角锥棱镜7为一随工作台11移动而改变的光程，两者的光程差为激光半波长偶数倍时出现亮条纹，奇数时出现暗条纹。所以工作台11连续移动时就会产生亮暗交替变化的条纹。移相板8将干涉条纹分成两组，此两组干涉条纹的位相差为90o。分像棱镜组9将两组相位为90o的干涉条纹分别引入两个光电探测器12，光电探测器将亮暗交替变化的光信号变为两路相差为90o的电信号，经过调理电路13实现倍频处理传递给计算机14。装在横梁上的双管差动式动态光电显微镜10作瞄准被检测尺上的刻线用。当工作台11运动，即基准尺的刻线通过光电显微镜的两个狭缝时，刻线影像被光电探测器15接收，转换成电脉冲。空气折射率由折射率干涉仪测出，温度由铂电阻测出。 现在是8页\一共有39页\编辑于星期五 激光干涉测量长度和位移 2 激光干涉测长的应用 2、激光跟踪干涉仪 左图所示为API公司生产的激光跟踪干涉仪的光路图。使用He-Ne激光器作光源，采用迈克尔逊干涉仪结构。干涉仪中的测量光束经扫描反射镜射向目标镜，然后沿原路返回，经扫描反射镜后，用一分光镜把它分成两部分，一部分直接进入干涉仪，和干涉仪中的参考光束干涉，用于测量目标镜的移动位移。另一束光用二维位置探测器PSD来接收，PSD的输出信号反馈到扫描镜控制系统中，控制扫描镜的转动方向，当目标镜在空间任意位置移动时，使测量光束始终对准目标镜，达到跟踪测量位移的目的。 此干涉仪的水平位移测量半径为25m,测量倾斜角为±45o，目标镜最大移动速度为2m/s，测量分辨力为0.1μm。 现在是9页\一共有39页\编辑于星期五 激光干涉测量长度和位移 2 激光干涉测长的应用 3、激光小角度干涉仪 激光小角度干涉仪是利用激光干涉测位移和三角正弦原理来测量角度的仪器。左图是激光小角度干涉仪测角原理图。激光器1发出的激光光束经分光镜3分成两路，一路沿光路a射向测量棱镜2，一路沿光路b射向参考镜4。当棱镜在位置I时，沿光路a前进的光束经角锥棱镜反向后，沿光路c射向反射镜5，并沿原路返回至分光镜，与从b路返回的参考光束会和而产生干涉。当棱镜移动到位置II后，沿光路a前进的光束由于棱镜II及平面反射镜的作用，使它们仍按原路返回，不产生光点移动，从而干涉图形相对接收元件的位置保持不变。根据干涉测位移原理可以测出角锥棱镜在位置I和位置II的位移H，若已知棱镜转动半径R，便可根据三角正弦关系求出被测角α。位移为：H=Kλ/4，α=arcsinH/R，式中，R为棱镜转动半径。 现在是10页\一共有39页\编辑于星期五 激光干涉测量长度和位移 2 激光干涉测长的应用 3、激光小角度干涉仪 在实