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光刻胶组合物、制作方法、基板及显示装置.pdfVIP

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  • 2023-05-18 发布于四川
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光刻胶组合物、制作方法、基板及显示装置.pdf

    本申请提供一种光刻胶组合物、制作方法、基板及显示装置。该光刻胶组合物包括以重量百分比计的：5‑25％的亚克力系主体材料、0.5‑2％的光引发剂、0.5‑2％的可聚合单体、0.1‑1％多官能团可交联聚合单体、0.1‑1％的添加剂、以及余量的溶剂。该制作方法包括：在目标膜层上涂覆光刻胶层，光刻胶层含光刻胶组合物；对光刻胶层进行对准曝光，进行显影，对目标膜层进行刻蚀；在第一温度范围内进行热处理，光刻胶层中交联网络结构发生断裂，对图形化的光刻胶层进行剥离。该基板中膜层由上述制作方法制成。该显示装置包括上

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 110501875 A (43)申请公布日 2019.11.26 (21)申请号 20191

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