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一种结合了紫外激光光谱分析和图像识别的激光损伤分析测试仪器,包括:工作波长激光光源和紫外激光光源、样品台、侧面光学成像模块和光谱分析探测器。本发明中,以工作波长激光对样品进行损伤测试,并以同轴的紫外激光在原位展开精细成像分析和光谱分析,通过工作波长激光和紫外激光在样品测试区域产生的光学信号能够对样品的折射、散射、成分均匀性、缺陷和损伤情况等进行综合采集,冀此实现激光损伤的快速检测及损伤区域精确定位、损伤类型区分、损伤成因分析。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114839145 A
(43)申请公布日 2022.08.02
(21)申请号 202210489238.X
(22)申请日 2022.05.07
(71)申请人 福建福晶科技股份有限公司
地址 3
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