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一种基于微同轴工艺的1-130GHz超宽带定向耦合器.pdfVIP

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  • 2023-05-18 发布于四川
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一种基于微同轴工艺的1-130GHz超宽带定向耦合器.pdf

    本发明公开一种基于微同轴工艺的1‑130GHz超宽带定向耦合器，包括GSG探针端口和微同轴耦合线；GSG探针端口包括输入端口、耦合端口、隔离端口和直通端口，微同轴耦合线包括外导体、内导体和周期性介质支撑加载结构，其中周期性介质支撑加载结构是具有光敏性质的有机材料周期性打孔的SU8，外导体开设周期性工艺窗口，输入端口、耦合端口、隔离端口和直通端口均为同轴线结构，微同轴耦合线分别通过两端的Y形结分离耦合线进行模式转换实现耦合线‑同轴过渡，通过同轴结构实现阻抗匹配，并与GSG探针端口相连；内导体为两根

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116130919 A (43)申请公布日 2023.05.16 (21)申请号 202310338549.0 (22)申请日 2023.03.31 (71)申请人 西安交通大学 地址 710049

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