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一种辅助蒸镀装置和蒸镀坩埚.pdfVIP

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  • 2023-05-18 发布于四川
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一种辅助蒸镀装置和蒸镀坩埚.pdf

    本公开提供一种辅助蒸镀装置和蒸镀装置，用于蒸镀坩埚中，所述辅助蒸镀装置包括：容纳结构，所述容纳结构包括底壁及其连接的侧壁；盖板，所述盖板与所述容纳结构的底壁、侧壁围成容纳空间；所述底壁和所述盖板均为网格结构；多个挡板，设置在所述容纳空间中，所述多个挡板将所述容纳空间分隔成多个容纳子空间。

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116121711 A (43)申请公布日 2023.05.16 (21)申请号 202310326096.X (22)申请日 2023.03.30 (71)申请人 京东方科技集团股份有限公司 地址

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