基于同轴激光三角法与显微成像的位移传感器及应用.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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基于同轴激光三角法与显微成像的位移传感器及应用.pdf

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本发明公开了基于同轴激光三角法与显微成像的位移传感器及应用，其光路结构包括激光模组、反射镜、50/50分光镜、显微物镜、感光元件，激光模组的出射光垂直入射50/50分光镜，50/50分光镜的出射光束经反射镜水平入射显微物镜，经显微物镜聚焦后照射在被测平面上，产生的反射光和散射光被显微物镜接收并形成水平出射光束，依次经过反射镜和50/50分光镜作用后垂直照射在感光元件的感光区，形成光斑。本发明高精度位移传感器精度高达纳米级，可实现零部件尺寸和表面特征的高精度测量。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114858060 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210284990.0 (22)申请日 2022.03.22 (71)申请人合肥工业大学地址 230009