一种MEMS超薄悬浮膜释放方法.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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一种MEMS超薄悬浮膜释放方法.pdf

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本发明的目的在于提供一种适用于批量化、低成本、较简便的超薄悬浮膜释放方法，属于MEMS传感器技术领域，本发明在干法刻蚀过程中通过引入贴片环，贴片环光刻胶形成台阶，使得正面保护的陪片与膜结构不直接接触，避免了之后膜分离时的外力损伤。贴片环位于晶圆一圈，属于密闭环，避免刻蚀气体进入空隙造成损伤。适用于批量化、低成本、较简便的超薄悬浮膜释放。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114852952 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210373580.3 (22)申请日 2022.04.11 (71)申请人中北大学地址 030051 山西