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一种复合叶片结构、涡轮转子和涡轮分子泵.pdfVIP

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  • 2023-05-18 发布于四川
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一种复合叶片结构、涡轮转子和涡轮分子泵.pdf

    本发明涉及涡轮分子泵技术领域，具体涉及一种复合叶片结构、涡轮转子和涡轮分子泵。所述复合叶片结构包括：第一叶片，设置于涡轮转子的抽气段；第一叶片的压力面和吸力面均为曲面；第一叶片的进口角α1的取值范围为25°≤α1≤35°；第一叶片的出口角β1的取值范围为40°≤β1≤50°；第三叶片，设置于涡轮转子的压缩段；第三叶片的压力面和吸力面均为非曲面；第三叶片的进口角α3的取值范围为20°≤α3≤25°；第三叶片的出口角β3的取值范围为20°≤β3≤25°。本发明提供的复合叶片结构，即提高了涡轮分子泵的

    (19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114837995 A (43)申请公布日 2022.08.02 (21)申请号 202210646881.9 (22)申请日 2022.06.08 (71)申请人 北京中科九微科技有限公司

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