原创力文档- 2
- 0
- 约1.27万字
- 约 11页
- 2023-05-18 发布于四川
- 举报
本发明公开了一种进气系统和进气方法。进气系统包括载气管路、工艺气体源瓶、工艺气体出气管路、排气管路以及保护组件；载气管路的第一端用于与载气源瓶连接，第二端与排气管路的进气端连接，第三端用于向工艺气体源瓶中通入载气，排气管路的出气端用于向尾气处理装置排放气体；工艺气体出气管路的第一端插置在工艺气体源瓶中，工艺气体出气管路的第二端与工艺腔室的进气口连通；保护组件串接在载气管路的第二端与排气管路的进气端之间，保护组件用于在载气管路内的压力不小于工艺气体源瓶的耐压阈值时，将载气管路与排气管路导通，并发出
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 111180365 A
(43)申请公布日
2020.05.19
(21)申请号 20201
您可能关注的文档
- 一种硬件设备推荐方法、装置，服务器及存储介质.pdf
- 一种分类检测方法、装置、设备及存储介质.pdf
- 旋转导电装置及风力发电机组.pdf
- 一种基于小面积指纹的指纹采集方法、身份认证方法及电子装置.pdf
- 高速路交通事故后处理的系统和方法.pdf
- 支撑装置以及风力发电机组.pdf
- 电池模组及其制作方法.pdf
- 半导体加工设备工艺参数的监控方法和监控装置.pdf
- 一种纳豆菌发酵菜用大豆等外品产黄酮类物质的方法.pdf
- 一种非接触按钮传感器单元及触发的方法.pdf
- 2018 12kV～40.5kV柜内交流断路器采购标准 第3部分：40.5kV柜内真空交流断路器专用技术规范.docx
- 2022 绿色电力评价规范.docx
- 2009 1000kV继电保护及电网安全自动装置运行管理规程及编制说明.docx
- 2009 1000kV母线保护装置技术要求及编制说明.docx
- 2009 1000kV系统电压和无功电力技术导则.docx
- 2018 66kV小电阻接地成套装置采购标准 第2部分：66kV／1000A小电阻接地成套装置专用技术规范.docx
- 2018 750kV变电站用棒形支柱复合绝缘子采购标准 第2部分：专用技术规范.docx
- 2021 港口岸电设备技术规范 第4部分：船岸连接和接口设备.docx
- 2009 信息分类与代码--安全监察管理类 第1部分：综合类代码(附编制说明).docx
- 2009 直流换流站与线路合成电场离子流密度测试方法.docx
文档评论（0）