籽晶提拉装置和晶体生长设备.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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籽晶提拉装置和晶体生长设备.pdf

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本发明公开了一种籽晶提拉装置和晶体生长设备，籽晶提拉装置包括籽晶轴、籽晶夹持器、籽晶旋转升降机构和保持器，籽晶夹持器用于夹持籽晶，籽晶夹持器连接在籽晶轴的下端；籽晶旋转升降机构与籽晶轴的上端相连，用于驱动籽晶绕自身的中心轴线旋转以及沿上下方向移动，籽晶的旋转轴线沿上下方向延伸；保持器位于籽晶轴的外周侧，保持器的上端与炉体相连，保持器的下端与籽晶夹持器相连，保持器在上下方向上的长度可变。根据本发明实施例的籽晶提拉装置，在拉制晶棒的过程中，可以使得籽晶夹持器稳定地上升和旋转，降低籽晶在炉体中产生震荡

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114836819 A (43)申请公布日 2022.08.02 (21)申请号 202210318943.3 (22)申请日 2022.03.29 (71)申请人徐州鑫晶半导体科技有限公司地址