动态阳极遮挡结构.pdfVIP

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2023-05-18 发布于北京
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动态阳极遮挡结构.pdf

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本发明涉及电镀技术领域，具体而言，涉及一种动态阳极遮挡结构。动态阳极遮挡结构包括安装板、遮挡板以及驱动组件；遮挡板与安装板可转动地连接；驱动组件与安装板连接，并用于驱动遮挡板相对于安装板转动。该动态阳极遮挡结构能够均匀遮挡镀件的边缘，进而可以消除晶圆在垂直机台上边缘局部的差异，使整板镀层均匀性进一步提高。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114855251 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210572164.6 (22)申请日 2022.05.24 (71)申请人东莞市晟悦半导体设备有限公司地址