一种柔性阵列式压力传感器及制备工艺.pdfVIP

下载本文档

48
0
约1.69万字
约 16页
2023-05-18 发布于北京
举报
版权申诉

一种柔性阵列式压力传感器及制备工艺.pdf

1、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。。
2、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
3、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
4、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
5、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
6、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
7、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明公开了一种柔性阵列式压力传感器及制备工艺，传感器包括柔性基板和多个阵列式的LC谐振电路，每个LC谐振电路均包括电感线圈和电容；通过改变LC谐振电路的参数使得针对同一压力环境，多个LC谐振电路处于不同的谐振频率区间S1，选定应用工况，确定柔性阵列式压力传感器总体尺寸；制备时，首先设计LC谐振电的参数，在柔性基板上打印制备柔性电路，柔性电路包括两个电容极板、电感线圈以及引线，然后覆盖电介质层，之后将柔性基板对折，得到柔性阵列式压力传感器。本发明采用阵列式传感器，既能提高测量精度，又能分布式测量

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114847909 A (43)申请公布日 2022.08.05 (21)申请号 202210366783.X (22)申请日 2022.04.08 (71)申请人武汉大学地址 430072 湖