- 1、本文档共13页,其中可免费阅读12页,需付费10金币后方可阅读剩余内容。
- 2、本文档内容版权归属内容提供方,所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议,可选择认领,认领后既往收益都归您。
- 3、本文档由用户上传,本站不保证质量和数量令人满意,可能有诸多瑕疵,付费之前,请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形,可联系本站下载客服投诉处理。
- 4、文档侵权举报电话:400-050-0827(电话支持时间:9:00-18:30)。
- 5、该文档为VIP文档,如果想要下载,成为VIP会员后,下载免费。
- 6、成为VIP后,下载本文档将扣除1次下载权益。下载后,不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
- 7、成为VIP后,您将拥有八大权益,权益包括:VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
- 8、VIP文档为合作方或网友上传,每下载1次, 网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等,对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档
查看更多
本发明的原位加热芯片及其制造方法,能够在很小的范围内进行加热并能够实现较高的温度梯度。原位加热芯片(100)包括:由硅构成的基片;形成在基片的至少1个主面上的二氧化硅层;和形成在二氧化硅层上的氮化硅层,原加热芯片(100)形成有通过除去基片而保留至少1个氮化硅层而成的加热微区薄膜窗口,在加热微区薄膜窗口形成有至少2个能够独立地加热的加热区域,在每个加热区域,在氮化硅层上形成有金属薄膜电阻图案(102)和与金属薄膜电阻图案(102)电连接的多个电极(102‑1、102‑2、102‑3、102‑4)
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114899070 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 202210205477.8
(22)申请日 2022.03.04
(71)申请人 中国科学院合肥物质科学研究院
地址
您可能关注的文档
- 一种空气亚悬浮滑动式高速列车.pdf
- 抽水蓄能电站服务电网运行综合评价方法.pdf
- 一种金弹子的栽培方法.pdf
- 一种植物油制备提纯分离装置及工艺.pdf
- 一种植物油榨取过滤装置以及方法.pdf
- 一种浆膜腔积液脱落细胞保存液及其生产方法.pdf
- 一种乙烯基硫醚化合物的连续流制备方法.pdf
- 一种急诊科用麻醉剂呼吸机.pdf
- 一种新型的湿垃圾产甲烷设备.pdf
- 一种纵向高屈服强度干法单拉隔膜的制备方法.pdf
- 硬笔书法基础笔画第三课撇课件-小学生书法.pptx
- 2.2.2一元二次不等式课件-高三中职数学一轮复习.pptx
- 18我喜欢我自己课件-一年级上册心理健康北师大版.pptx
- 第四课《接纳自己的情绪》(给自己的一封信)课件苏教版初中心理健康八年级全一册.pptx
- 第十二课《激发学习动机》课件苏教版心理健康七年级全一册.pptx
- 2.2.3绝对值不等式课件-高三中职数学一轮复习.pptx
- 中学生班主任培训课件.pptx
- 第十六课《你的心情我最懂》(情绪侦探)课件苏教版初中心理健康八年级全一册.pptx
- 专题一集合与简易逻辑课件-广西中职对口升学数学一轮复习.pptx
- 2.3均值定理课件-高三中职数学一轮复习.pptx
最近下载
- 2024年党纪学习教育ppt(党课).pptx VIP
- 铁路运输企业安全生产三项制度(安全生产责任制、制度、操作规程)汇铁路运输企业安全生产三项制度(安全生产责任制、制度、操作规程)汇编.pdf VIP
- 实验动物中心设计方案.doc
- 中医整脊疗法选择题及答案.pdf
- 2024年6月英语四级真题(全3套).pdf
- 小学心理健康教育的工作总结.pptx VIP
- 医疗器械可用性验证报告2023版.pdf VIP
- 医院手术室净化及装饰工程施工组织设计_1方案.pdf
- 三级地质调查员(水文地质、环境地质、农业地质)理论试题库资料(含答案).pdf
- 15 特殊健康状态儿童预防接种专家共识之十五——自身免疫性疾病与预防接种_孙金峤.pdf VIP
提供农业、铸造、给排水、测量、发电等专利信息的免费检索和下载;后续我们还将提供提供专利申请、专利复审、专利交易、专利年费缴纳、专利权恢复等更多专利服务。并持续更新最新专利内容,完善相关专利服务,助您在专利查询、专利应用、专利学习查找、专利申请等方面用得开心、用得满意!
文档评论(0)