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本发明公开了一种基于介质超表面的激光防护膜及其制备方法，所述激光防护膜包括保护层、介质超表面和基底；介质超表面由介质超单元在基底上排布成二维阵列，介质超单元为亚波长且折射率高于阈值；通过调整介质超单元的材料、形状和尺寸，使介质超单元内多个谐振模式相互干涉。制备方法为：在牺牲基片上面生长一层透明薄膜作为基底；在基底上生长一层高折射率结构材料，通过光刻和刻蚀，在结构材料层上制备出介质超表面；在介质超表面上生长一层透明薄膜作为保护层；通过刻蚀把牺牲基片去掉，得到基于介质超表面的激光防护膜。本发明实现了
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114879282 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210526199.6
(22)申请日 2022.05.16
(71)申请人 南京理工大学
地址 210094
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