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本发明实施例提供了一种路径编辑的方法和装置，应用于半导体装备技术领域，该方法包括：接收用户基于路径编辑界面输入的新建指令，响应于新建指令，在传送路径中添加新建工艺步骤，并在路径编辑界面中标示出新建工艺步骤的多个输入控件，接收用户通过目标输入控件输入的配置参数，并将配置参数作为目标参数标题指定的一项工艺配置添加到新建工艺步骤的工艺配置中。由于每个工艺步骤对应的多个输入控件依次显示，用户可以通过多个输入控件直接输入与参数标题对应的工艺配置，完成对工艺步骤的编辑，可以避免在不同区域之间频繁切换，从而可
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114879950 A
(43)申请公布日 2022.08.09
(21)申请号 202210440997.7
(22)申请日 2022.04.25
(71)申请人 北京北方华创微电子装备有限公司
地址
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