蒸镀装置及显示面板的制作方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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蒸镀装置及显示面板的制作方法.pdf

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本发明公开了一种蒸镀装置及显示面板的制作方法。其包括第一蒸镀腔室、传送轨道以及面板传送机构；第一蒸镀腔室包括相对设置的第一底面和第一顶面、以及连接于第一底面和第一顶面之间的第一侧面；传送轨道通过第一蒸镀腔室；面板传送机构包括承载件，承载件可移动地连接于传送轨道上并用于承载面板，承载件处于第一状态，以使面板的蒸镀面垂直于第一底面，承载件处于第二状态，以使面板的蒸镀面与第一底面之间的夹角大于90°或小于90°，至少当承载件移动至第一蒸镀腔室内时，承载件处于第一状态，且蒸镀面与第一侧面相平行且相对设置

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114875363 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210297415.4 H01L 51/56 (2006.01) (22)申请日 2022.03.