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本发明提供一种粘合片,其可良好地暂时固定小型电子部件(例如,尺寸为50μm□以下的芯片)且能够良好地剥离。本发明的粘合片具备通过激光照射而产生气体的气体产生层,该气体产生层的利用纳米压痕法得到的弹性模量Er(gas)[单位:MPa]与厚度h(gas)[单位:μm]满足下述式(1)。Log(Er(gas)×106)≥8.01×h(gas)‑0.116…(1)。在一个实施方式中,上述粘合片的波长360nm的透光率为0%~35%。在一个实施方式中,上述粘合片的波长380nm的透光率为10%~100%。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 114901765 A
(43)申请公布日 2022.08.12
(21)申请号 202080090547.9 (74)专利代理机构 北京林达刘知识产权代理事
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