透明材料激光转印装置及其方法.pdfVIP

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2023-05-19 发布于北京
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透明材料激光转印装置及其方法.pdf

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本发明涉及透明材料激光转印装置及方法，激光器的输出光路上依次布置有用于调整功率大小的电动功率衰减模块、用于对光束尺寸放大或缩小的扩束镜以及用于改变光束传播方向的反射单元，反射单元的反射光路上设有振镜扫描聚焦系统，振镜扫描聚焦系统正对于二维运动加工平台，透明材料与衬底材料贴合置于二维运动加工平台上，透明材料位于衬底材料之上。激光聚焦于透明材料与衬底材料的结合面，激光与材料相互作用，在透明材料的下表面形成微纳结构，同时将衬底材料气化形成高能等离子体，高能金属离子蒸镀固化在微纳结构区，形成微米量级的线

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114885512 A (43)申请公布日 2022.08.09 (21)申请号 202210208554.5 (22)申请日 2022.03.04 (71)申请人苏州德龙激光股份有限公司地址 2