导电性金属氧化膜、半导体元件和半导体装置.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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提供一种电特性优异的导电性金属氧化膜和半导体元件。一种包含金属氧化物作为主成分的导电性金属氧化膜，所述金属氧化物至少包含选自元素周期表第4族中的第一金属和选自元素周期表第13族中的第二金属，使用该导电性金属氧化膜，制作半导体元件，由制作的半导体元件制造功率卡等半导体装置，另外，由这些半导体元件或半导体装置来构造半导体系统。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114930501 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202180008631.6 (74)专利代理机构北京德琦知识产权代理有限