基板转移方法以及基板转移装置.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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基板转移方法以及基板转移装置.pdf

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本发明涉及：基板转移方法，其用于通过使用在包括基板转移机械手的基板转移装置中装载或卸载基板时关于基板的位置的信息来控制基板转移机械手；以及基板转移装置。根据本发明，当在设定用于装载或卸载基板的初始参考值之后，由于过程变化或硬件变化而需要设定新的参考值的操作时，参考值被自动地设定，因此在不手动改变基板转移机械手的参考值的情况下，也允许基板被转移以被定位在基座的中心。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114930515 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202180009430.8 (74)专利代理机构北京弘权知识产权代理有限