用于原位沉积监测的方法及设备.pdfVIP

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2023-05-20 发布于北京
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用于原位沉积监测的方法及设备.pdf

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原位监测挡盘上的沉积的方法及设备。在一些实施方式中，设备可包括：处理腔室，具有内部处理空间；外壳，设置在内部处理空间外部，其中外壳在挡盘不在内部处理空间中使用时接纳挡盘；挡盘臂，从外壳到内部处理空间来回移动挡盘；和至少一个传感器，整合到外壳中。至少一个传感器被构造成用以确定在内部处理空间中粘涂处理之后沉积在挡盘上的材料的至少一种膜性质。

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114929931 A (43)申请公布日 2022.08.19 (21)申请号 202180008904.7 (74)专利代理机构北京律诚同业知识产权代理