洁净室及相关受控环境 第3部分：检测方法 编制说明.docx

编制说明 一、工作简况 根据《国家标准化管理委员会关于下达 2021 年第二批推荐性国 家标准计划及相关标准外文版计划的通知》(国标委发〔2022〕23 号)， 全国洁净室及相关受控环境标准化技术委员会(SAC/TC319)组织成 立了《洁净室及相关受控环境 第 3 部分：检测方法》(国家标准计划：T-469)国家标准的起草工作组，工作组的主要组成单位 是：等。起草工作组严格按照国家标准制定工作程序开展工作，于 2023 年 3 月 6 日召开了第一次工作会议， 制定了工作计划， 对标准草案进 行了讨论。 至 2023 年 5 月组织了多次线上讨论会， 起草工作对标准 草案进行多轮修改，形成了标准征求意见稿。 二、国家标准编制原则、主要内容及其确定依据 本标准依据《中华人民共和国标准化法》《中华人民共和国标准 化法条文解释》《中华人民共和国标准化法实施条例》及《国家标准 管理办法》等法律、法规编制， 遵循“科学性、统一性、适用性、规 范性、与国际标准的一致性”的原则，采用国际标准 ISO14644-3:2019, 并在 GB/T25915.3-2010/ISO14644-3:2005 的基础上修订。 主要内容包括5 个板块及 3 个附录， 具体为： 1. 范围； 本文件提供了支持洁净室和洁净区运行的测试方法， 以满 足空气洁净级别、其他洁净属性和相关受控条件。不适用 于测量洁净室或隔离装置内的产品或工艺。 2. 规范性引用文件； 本文件无规范引用文件。 3. 术语和定义； 共分 7 大类进行了相关的术语解释， 具体为： 一般术语、 与空气悬浮粒子有关的术语、与空气过滤器和过滤系统有 关的术语、与气流和其他物料状态有关的术语、与静电测 量有关的术语、与测量器具和测量条件有关的术语、与占 用状态有关的术语。 4. 测试程序； 阐述了洁净室测试的一般测试及支持性测试的项目， 同时 详细说明了各项测试的原理。 5. 测试报告； 介绍了测试报告的应包含的内容情况。 附录 A (资料性附录)支持性测试和清单的选择； 详细规定了洁净室及相关受控环境的测试项目清单以及 测试和验证计划要求。 附录 B (资料性附录)支持的测试方法； 详细规定了各测试项的具体测试概述、程序/方法、仪器及 报告等要求。 附录 C (资料性附录)测试仪器； 详细规定了各项测试所用的仪器要求。 三、试验验证的分析、综述报告， 技术经济论证， 预期的经济效 益、社会效益和生态效益； 《洁净室及相关受控环境 第 3 部分： 检测方法》GB/T25915.3 作 为 GB/T25915 系列规范最重要的组成，其在洁净室及相关受控环境测 试工作中被广泛采用。同时，作为 ISO14644.3 国际标准的等同标准， 其对于国内相关技术要求与国际接轨提供了必要的支持。 本标准规定的洁净室及相关受控环境测试参数包括了压差测试、 气流测试、气流方向及可视化测试、自净测试、温度测试、湿度测试、 已装过滤系统泄漏测试、围护结构密闭性泄漏测试、静电和离子发生 器测试、粒子沉降测试及隔离测试。其涉及的参数基本覆盖了所有行 业的洁净室及相关受控环境的基本要求。 GB/T25915.3-2010 已经颁发实施十二年之久， 2010 版作为首次 等同采用 ISO14644.3， 完善了国内洁净室及相关受控环境领域测试 技术，并与国际要求接轨。 ISO 技术要求在国际上主要经济体是通用 的、相互认可的。满足了 GB/T25915 的要求， 就是满足了 ISO14644 的要求， 也即满足了国际主要经济体关于洁净室及相关受控环境的技 术要求。随着洁净技术的创新及发展， 洁净技术相关的材料、设备也 在发展、迭代， 一些新的材料、设备也在发明、出现， 洁净室的测试 方法也需同步发展和完善。在2019 年， ISO14644 的第三部分已经升 版并颁布实施， 至今已有4 年。 因此 GB/T25915 第三部分的修订工作 也迫在眉睫。一则是要跟进国际、国内的洁净技术发展步伐， 为洁净 技术的发展提供支撑；二则国内的洁净技术及洁净行业现状与国外略 有不同， 我们还需根据国内实情修订标准； 三则是及时引进国际、国 外的先进理念， 为国内洁净行业测试技术提供最新的参考。 本次的标准修订相对于 2010 版变化较大，无论是一些术语的表 述，还是测试方法的规定都有较大的变动。有的表述更科学、更规范； 有的要求更合适、更先进。比如压差测试的要求：2010 版规定对于多 间洁净室时， 先测量最里层房间与相邻房间之间的压差， 然后依次向 外层测量，直至测量到最外层密闭区和辅助区之间以及与室外环境之