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- 2023-05-23 发布于四川
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本发明提供了一种有机发光二极管显示器的制作方法,通过制作辅助电极,并在其上方制作牺牲层,利用牺牲层的结晶态为非晶质的特性,后续制程热处理后采用湿法刻蚀去除,从而可在辅助电极上方形成底切结构,实现了阴极可与辅助电极搭接且接触面积不大,从业减少了压降导致的亮度不均问题。同时,通过调控牺牲层的厚度和蚀刻条件,可以调控底切结构的规格,灵活满足后续工艺要求。
(19)中华人民共和国国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 112164755 A
(43)申请公布日 2021.01.01
(21)申请号 202010973826.1
(22)申请日 2020.09.16
(71)申请人 深圳市华星光电半导体显示技术有
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